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Wafer晶圓清洗增壓泵
NMP Cleaning Pumps For Wafer
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半導(dǎo)體行業(yè)專用;
氣動增壓,雙向,雙作用;
適用介質(zhì):NMP/DIW等(具體介質(zhì)請電詢)
最高壓力可達(dá)35MPa;
高潔凈度,高可靠性,已通過半導(dǎo)體行業(yè)多家fab廠驗(yàn)證;
嚴(yán)格的質(zhì)量控制,出廠100%壓力試驗(yàn)。
NMP
型號
Model
驅(qū)動壓力
psi(MPa)
增壓比
最高壓力
psi(MPa)
柱塞排量
ml
最高溫度
℃
DC35DL
15-100
(0.1-0.7)
37.5:1
3750
(25.8)
12.5
60
DE50DL
50:1
5000
(35)
31
注:針對不同介質(zhì)及不同工況,我們可提供多種解決方案,具體請電詢。
應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體
通用工業(yè)
H2
氫能應(yīng)用
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