用于晶圓二氧化碳雪花洗，清洗力柔和，不損傷表面

用于水導(dǎo)激光恒壓供水，PLC自動控制，最高壓力達(dá)60MPa。

半導(dǎo)體晶圓超臨界二氧化碳清洗模塊，集成表閥等控制元件

半導(dǎo)體晶圓化學(xué)品清洗模塊，集成表閥等控制元件

半導(dǎo)體晶圓DIW清洗模塊，集成表閥等控制元件

半導(dǎo)體專用化學(xué)清洗增壓泵，適用于半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗或除膠，有50和37.5兩種比例

半導(dǎo)體專用，去離子水清洗增壓泵，適用于半導(dǎo)體晶圓去離子水清洗，嚴(yán)格的pa控制，多種比例可選

提供半導(dǎo)體晶圓清洗用增壓泵的專業(yè)維修服務(wù)